槽车+CCB+储罐/日用罐+CDM 供应系统 原液存放于槽车，经过槽车填充柜（CCB）输送到储存罐。再由供液设备将高纯化学品输送到日用罐。
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CTU+CMU+CDU 供应系统 多种原液DRUM经过泵输送至混配槽。混配完成后，将合格的化学品输送至储罐，最后经由CDU中的供应设备将化学品供应至VMB,槽车等使用点。
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STU+SMU+SDU 供应系统 原液DRUM经过STU输送到储存罐。再由供液设备将研磨液输送到混配罐，混配完成后，将合格的研磨液输送至日用罐，最后经由SDU中的供应设备将研磨液经由VMB分配到使用点。
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20L/200L 空桶经电动滚轮输送清洗机台，纯水及N2先后吹扫后，测试清洗合格后，再由滚轮自动输送至充填机台，自动定位后，充填枪对DRUM进行充填。充填完成后，DRUM由滚轮机带至指定位置，再由天车吊到栈板上，分组包装。
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对制程产生的TMAH废液进行回收，进而循环使用。以减少原有TMAH废液处理产生的费用，并达成一定的经济效益。
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从主系统VMB接至制程机台的工艺管道工程，如PFA/CPVC、SUS316L EP等洁净管道布置。
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