研磨液混配输送系统

STU+SMU+SDU 供应系统
原液DRUM经过STU输送到储存罐。再由供液设备将研磨液输送到混配罐，混配完成后，将合格的研磨液输送至日用罐，最后经由SDU中的供应设备将研磨液经由VMB分配到使用点。
所有组件全部安装在设备内部。
流量，用量，压力，液位，浓度等全方位自动监控连锁。确保稳定可靠的供液。
程式撰写加入历史累计量，泵浦、阀门等运转次数，给出可靠的使用量，DRUM更换周期等信息。