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槽车+CCB+储罐/日用罐+CDM 供应系统 原液存放于槽车,经过槽车填充柜(CCB)输送到储存罐。再由供液设备将高纯化学品输送到日用罐。运行时供液柜把日用罐中的化学品经由VMB分配到各个用点。 所有组件全部安装在设备内部。 流量,用量,压力,液位等全方位自动监控连锁。确保稳定可靠的供液。 程式撰写加入历史累计量,泵浦、阀门等运转次数,给出可靠的使用量,DRUM更换周期等信息。